2024-07-06
在半導(dǎo)體制造行業(yè)中,無(wú)塵車(chē)間作為半導(dǎo)體制造的核心場(chǎng)所,其設(shè)計(jì)裝修需滿足高潔凈度、低塵埃、良好的溫濕度控制等嚴(yán)格要求。下文將詳述半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間的裝修分區(qū)設(shè)計(jì)與要求。
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半導(dǎo)體廠房設(shè)計(jì)