186 6511 0000

電子集成電路潔凈廠房設(shè)計(jì)建造

發(fā)布時間:2023-02-25
已有 9898 家企業(yè)看過

       集成電路(integrated circuit)是一種微型電子器件或部件。采用一定的工藝,把一個電路中所需的晶體管、電阻、電容和電感等元件及布線互連一起,制作在一小塊或幾小塊半導(dǎo)體晶片或介質(zhì)基片上,然后封裝在一個管殼內(nèi),成為具有所需電路功能的微型結(jié)構(gòu);其中所有元件在結(jié)構(gòu)上已組成一個整體,使電子元件向著微小型化、低功耗、智能化和高可靠性方面邁進(jìn)了一大步。

       集成電路無塵車間是為了滿足半導(dǎo)體制造工藝需求的潔凈室,該無塵車間對環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相對于其他工業(yè)潔凈室集成電路制造無塵車間有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點(diǎn)。

電子集成電路凈化車間

       無塵車間的建造,除考慮實(shí)用性及可靠性外,強(qiáng)調(diào)靈活性以適應(yīng)集成電路更新?lián)Q代快的要求,使原有無塵車間能方便的迅速的按生產(chǎn)要求進(jìn)行調(diào)整及改造。Fu循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運(yùn)行空間、潔凈度安全性高、運(yùn)行成本低,而且操作靈活性很高,可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時進(jìn)行系統(tǒng)升級和調(diào)整,這些都能很好地滿足半導(dǎo)體制造的需求,因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為最主要的凈化設(shè)計(jì)方案。

       FFU循環(huán)系統(tǒng)的特點(diǎn)是整個潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風(fēng)通道組成,由F提供循環(huán)空氣的動力,將新風(fēng)、循環(huán)風(fēng)混合后通過超高效過濾器送入工藝層和工藝輔助層,靜壓層相對于工藝層為負(fù)壓。此外,還有生產(chǎn)輔助區(qū)為集成電路制造廠務(wù)設(shè)備區(qū)域,包括電力供應(yīng)、氣體和化學(xué)品供應(yīng)、超純水供應(yīng)等。

       集成電路制造對無塵車間環(huán)境的控制有較為嚴(yán)格的要求。不同的工藝制程對潔凈度的要求也各不相同,例如光刻要求在1級的微環(huán)境下,而化學(xué)機(jī)械研磨則只要求13級的環(huán)境即呵。另外,集成電路制造潔凈廠房對噪聲、微振、照度等都有相關(guān)的規(guī)定和要求,尤其是振動的控制,在潔凈室的建筑結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上就要有所要求。

       潔凈車間設(shè)計(jì)不僅能節(jié)省能源、降低運(yùn)行成本、降低人力投入,而且可以給生產(chǎn)提供安全可靠的保證。FFU循環(huán)系統(tǒng)運(yùn)行成本低,潔凈度安全性高,因此集成電路潔凈廠房多采用Fl嵋環(huán)系統(tǒng)。而潔凈度要求越高,溫濕度控制精度越高則潔凈室投資和運(yùn)行成本越高,因此在大環(huán)境潔凈度或溫濕羨要求相對較低的情況下,將一些關(guān)鍵的工藝設(shè)備布置在較高潔凈度或溫濕度控制區(qū)域內(nèi)是集成電路制造潔凈廠房的設(shè)計(jì)趨勢。

       集成電路制造是高能耗的產(chǎn)業(yè),而潔凈空調(diào)系統(tǒng)的能耗則占其中的30%以上,因此節(jié)能安全的潔凈室設(shè)計(jì)和各種熱能回收設(shè)計(jì)將是未來的發(fā)展方向。主流大廠已經(jīng)進(jìn)入了納米時代,集成電路制造潔凈廠房的設(shè)計(jì)建造和節(jié)能創(chuàng)新也需要不斷提升,為先進(jìn)制程產(chǎn)品生產(chǎn)提供保障。

       關(guān)于工業(yè)潔凈廠房建設(shè),歡迎您持續(xù)關(guān)注我們合景凈化工程公司的網(wǎng)站,我們會為您持續(xù)講解新能源電池潔凈工程、電子光學(xué)潔凈工程、生物制藥潔凈工程、醫(yī)療器械潔凈工程以及食品日化潔凈工程等施工流程、各項(xiàng)要求以及解讀各類工業(yè)潔凈車間標(biāo)準(zhǔn)。