潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范

現(xiàn)批準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》為國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，編號(hào)為GB?50073-2013，自2013年9月1日起實(shí)施。其中，第3.0.1(1、2、3)、4.2.3(1)、4.4.1、5.2.1、5.2.4、5.2.5、5.2.6、5.2.7、5.2.8、5.2.9、5.2.10、5.2.11、5.3.5、5.3.10、6.1.5、6.2.1、6.3.2、6.5.1、6.5.3、6.5.4、6.5.6、6.5.7(1)、6.6.2、6.6.6、7.3.2、7.3.3(1、4)、7.4.1、7.4.3、7.4.4、7.4.5(2)、8.1.1(4)、8.1.5、8.1.8、8.4.1、8.4.2(2、3)、8.4.

集成電路封裝測(cè)試廠設(shè)計(jì)規(guī)范為國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，編號(hào)為GB?51122-2015，自2016年5月1日起實(shí)施。其中，第5.3.1條為強(qiáng)制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行。

潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范 GB50073-2013潔凈室及潔凈區(qū)內(nèi)空氣中懸浮粒子空氣潔凈度等級(jí)應(yīng)符合下列規(guī)定：