潔凈廠房設(shè)計規(guī)范 GB50073-2013潔凈室及潔凈區(qū)內(nèi)空氣中懸浮粒子空氣潔凈度等級應(yīng)符合下列規(guī)定:
1、潔凈室及潔凈區(qū)空氣潔凈度整數(shù)等級應(yīng)按下表確定。
潔凈室及潔凈區(qū)空氣潔凈度整數(shù)等級
注:按不同的測量方法,各等級水平的濃度數(shù)據(jù)的有效數(shù)字不應(yīng)超過3位。
2、各種要求粒徑D的最大濃度限值Cn應(yīng)按下式計算:
式中:Cn——大于或等于要求粒徑的最大濃度限值(pc/m3)。Cn是四舍五入至相近的整數(shù),有效位數(shù)不超過三位數(shù);
N——空氣潔凈度等級,數(shù)字不超過9,潔凈度等級整數(shù)之間的中間數(shù)可以按0.1為最小允許遞增量;
D——要求的粒徑(μm);
0.1——常數(shù),其量綱為μm。
3、當(dāng)工藝要求粒徑不止一個時,相鄰兩粒徑中的大者與小者之比不得小于1.5倍。
4、空氣潔凈度等級的粒徑范圍應(yīng)為0.1μm~0.5μm,超出粒徑范圍時可采用U描述符或M描述符補充說明。
4).1空氣潔凈度等級所處狀態(tài)包括空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài),空氣潔凈度等級所處狀態(tài)應(yīng)與業(yè)主協(xié)商確定。
4).2空氣潔凈度的測試方法應(yīng)按本規(guī)范附錄A的要求進(jìn)行。
4).3當(dāng)潔凈室(區(qū))內(nèi)的產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求控制微生物、化學(xué)污染物時,應(yīng)根據(jù)工藝特點對各空氣潔凈度等級規(guī)定相應(yīng)的微生物、化學(xué)污染物濃度限值。
5、空氣潔凈度等級
本規(guī)范修訂過程中,涉及潔凈技術(shù)的各有關(guān)單位、科技人員和專家們都強烈希望“規(guī)范應(yīng)與國際接軌”,為此,本規(guī)范修訂中將空氣潔凈度等級等效采用國際標(biāo)準(zhǔn)《潔凈室及相關(guān)被控環(huán)境——第一部分,空氣潔凈度的分級》IS0 14644-1,在該標(biāo)準(zhǔn)中列出的空氣潔凈度整數(shù)等級(表3.0.1)及其關(guān)注的大于或等于要求粒徑的允許濃度有爭議時,可將式(3.0.1)得出的濃度Cn作為標(biāo)準(zhǔn)限值。由于空氣潔凈度等級的分級規(guī)定是潔凈廠房設(shè)計建造必須遵循的規(guī)定,所以本條的第1款~第3款為強制性條文。
隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,目前在一些高科技產(chǎn)品用潔凈廠房中,不僅要求控制潔凈室(區(qū))內(nèi)的微粒,還要求控制各類微生物、化學(xué)污染物,為此增加了本條規(guī)定。
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